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產(chǎn)品詳細(xì)介紹
輸入電壓 AC220V（±10V)/AC380
電源功率 1KW-5K
W
電壓頻率 40kHz/13.56MKz
腔體容量 125L—200L（可選）
使用氣體 二路工藝氣體配置（可用氣體：氬氣、氧氣、氮氣、空氣）
控制系統(tǒng) PLC觸摸屏
過程控制 自動與手動方式
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