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氮?dú)鈱挿入x子體表面處理設(shè)備是由:輝光等離子發(fā)生器、氣源輸入單元、流水線輸送帶、控制系統(tǒng)單元等部分組成。輝光等離子發(fā)生器產(chǎn)生高壓高頻信號激發(fā)氣體產(chǎn)生了輝光低溫等離子體,等離子體噴向工件表面,當(dāng)?shù)入x子體與被處理物體接觸時,表面產(chǎn)生了物理化學(xué)反應(yīng),即而實(shí)現(xiàn)了表面效果。